Upravlenie bystrymi termicheskimi processami pri gazofaznoj jepitaxii
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Partner: | buecher.de |
Hersteller: | Lap Lambert Academic Publishing (Alexandr, Kapitonov) |
Stand: | 2015-08-04 03:50:33 |
Produktbeschreibung
V rabote rassmotrena zadacha postroeniya robastnogo zakona upravleniya po vyhodu dlya sistemy so stepennoj nelinejnost´ju. V kachestve prakticheskogo primeneniya rassmatrivaetsya zadacha regulirovaniya temperatury v bystryh termicheskih processah, harakternyh dlya gazofaznoj jepitaxii. Reshenie zadachi polucheno s ispol´zovaniem metoda posledovatel´nogo kompensatora. V rabote formuliruetsya ogranichenie na nelinejnost´, predstavlyajushhee soboj ob#edinenie sektornoj i stepennoj nelinejnostej. Pokazano, chto polinomial´naya nelinejnost´ sootvetstvuet vvedennomu ogranicheniju. S ispol´zovaniem apparata funkcij Lyapunova dokazyvaetsya asimptoticheskaya ustojchivost´ zamknutoj sistemy dlya ukazannogo tipa nelinejnosti, chto usilivaet ranee izvestnye rezul´taty. Jexperimental´noe issledovanie processa gazofaznoj jepitaxii pokazalo, chto s primeneniem predlozhennogo metoda udaetsya obespechit´ nulevoe matematicheskoe ozhidanie oshibki slezheniya i srednekvadratichnuju oshibku temperatury, ne prevyshajushhuju 1 K
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