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Micro and Nano Fabrication




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Partner:buecher.de
Hersteller:Springer, Berlin; Springer (Gatzen, Hans-Heinrich; Saile, Volker; Leuthold, Jürg)
Stand:2015-08-04 03:50:33

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Produktbeschreibung

For Microelectromechanical Systems (MEMS) and Nanoelectromechanical Systems (NEMS) production, each product requires a unique process technology. This book provides a comprehensive insight into the tools necessary for fabricating MEMS/NEMS and the process technologies applied. Besides, it describes enabling technologies which are necessary for a successful production, i.e., wafer planarization and bonding, as well as contamination control.


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