Hilfe
Feedback
Suche

Silizium-Halbleitertechnologie




Preis:
49.99 EUR*
(inkl. MWST zzgl. Versand - Preis kann jetzt höher sein!)
Versand:0.00 EUR Versandkostenfrei innerhalb von Deutschland
Partner:buecher.de
Hersteller:Vieweg+Teubner; Springer Fachmedien Wiesbaden (Hilleringmann, Ulrich)
Stand:2015-08-04 03:50:33

Auf meinen Wunschzettel Partnerseite besuchen

Produktbeschreibung

Grundlage der mikroelektronischen Integrationstechnik ist die Silizium-Halbleitertechnologie. Sie setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen 10 nm gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht des Anwenders erläutert. Das Lehrbuch behandelt neben den Grundlagen auch die technische Durchführung der Einzelprozesse zur Integrationstechnik.


Weitere Informationen und der aktuelle Preis im Shop von buecher.de | Dieses Produkt auf den Wunschzettel legen
* Preis kann jetzt höher sein. Den aktuellen Stand und Informationen zu den Versandkosten finden sie auf der Homepage unseres Partners.

Folgende Produkte könnten dir ebenso gefallen